摘要：
ZMPS-LEM01-300激光刻蚀设备
此设备指在特定的时间内通过高能量、极短脉冲的激光光束照射材料表面，激光束产生的热量使材料在瞬间汽化蒸发，从而形成一定深度定深度的凹槽，达到刻蚀目的的设备。
设备参数
| 序号 | 项目 | 参数 |
| 1 | 设备尺寸 | 4000×1300×2500mm |
| 2 | 设备重量 | 800kg |
| 3 | 机架结构 | 采用高品质Q235方钢焊接制成 |
| 4 | 定位精度 | X轴≤±0.005mm，Y、Z轴定位精度：≤±0.01mm |
| 5 | X轴重复定位精度 | ≤±0.002mm |
| 6 | Y、Z轴重复定位精度 | ≤±0.005mm |
| 7 | X轴划线直线度 | 优于±20μm |
| 8 | 适用基片尺寸 | 300×300mm以内 |
| 9 | 设备电源 | 电压：220V,频率：50Hz |
| 10 | 设备总功率 | MAX10kW |
| 11 | 除尘系统 | 具备大通量吸尘功能，稳定可靠，用于加工过程中产生的粉尘颗粒的清洁 |
基板规格
| 序号 | 项目 | 标准 | 公差 |
| 1 | 尺寸 | 300×300mm以内 | 各边±1mm |
| 2 | 材料 | 玻璃 | / |
| 3 | 厚度 | 1×3.2mm | ±0.2mm |
| 4 | 最大允许弯曲 | 对角线方向≤0.5mm/m | / |
| 5 | 边缘 | C角 | / |
