摘要：
ZMPS-VCM02-200桌面式真空成膜设备
此设备是用于在减压下进行结晶从而分离溶液中溶质和溶剂。
设备参数
| 序号 | 项目 | 参数 |
| 1 | 设备尺寸 | 686×4265×750mm（不含泵） |
| 2 | 设备重量 | 150kg（不含泵） |
| 3 | 真空泵 | 电压：380V、功率2.2kW |
| 4 | 真空泵抽速 | 60m³/h |
| 5 | 腔体材质 | SUS304不锈钢 |
| 6 | 机架材质 | 铝合金型材 |
| 7 | 极限真空度 | ＜1Pa |
| 8 | 工艺抽速 | 大气压状态10s达到10Pa |
| 9 | 破真空速度 | 10Pa至大气压时间≤5s |
| 10 | 腔体漏率 | ≤1×10-10 Pa·m3/s（设备破真空后8小时，空载抽空压力为基准） |
| 11 | 真空计测量范围 | 1.0×10-1～1.0×105Pa（设备破真空后8小时，空载抽空压力为基准） |
基板规格
| 序号 | 项目 | 标准 | 公差 |
| 1 | 尺寸 | 200mm×200mm（可向下兼容） | 各边±1mm |
| 2 | 材料 | 玻璃 | / |
| 3 | 厚度 | ≤3.2mm | ±0.2mm |
| 4 | 最大允许弯曲 | 对角线方向≤0.5mm/m | / |
| 5 | 边缘 | C角 | / |
