摘要：
ZMPS-PSC04-200桌面式涂布设备
此设备用于在多种基片（基片尺寸≤200×200mm）表面涂布工艺薄膜制备。
设备参数
| 序号 | 项目 | 参数 |
| 1 | 设备尺寸 | 1100×880×800mm |
| 2 | 设备重量 | 300kg |
| 3 | 涂布有效宽度 | 200mm向下兼容 |
| 4 | 基材载片平台规格 | 含真空吸附功能，孔径1mm |
| 5 | 液体粘度 | 0.7-1000cp |
| 6 | 涂层厚度 | （干厚）20-2000nm（根据溶剂而定） |
| 7 | 狭缝调节范围 | 0-20mm |
| 8 | 涂布头材质 | SUS630材质，内部表面粗糙度Ra≤0.025μm |
| 9 | 涂布头唇口直线度 | 刀口/工作面直线度≤±1um/0.1m |
| 10 | 涂布头内槽容量 | 不高于5ml |
| 11 | 驱动方式 | 直线电机/气浮平台（Y轴）、研磨级丝杠模组+伺服电机（Z轴） |
| 12 | 注液泵上料泵速度 | 0.5-80ul/s |
| 13 | 注液速度精度 | 优于0.1μL/s |
| 14 | Y轴移载部件速度 | Max200mm/s |
| 15 | 平台平面度精度 | 优于±2.5μm |
| 16 | Y轴移载部件重复定位精度 | ±0.005mm |
| 17 | Z轴升降部件速度范围 | 0-50mm/s |
| 18 | Z轴升降部件精度 | 定位精度2μm，重复定位精度2μm |
| 19 | 风刀部件（选配） | 均匀有效宽度200mm，均匀性优于±5%，角度/高度可调，最大载荷0.8MPa |
| 20 | 自动初效清洗 | 前后双废液槽，并含有废液自动回收系统 |
| 21 | 防护罩部件 | 框架钣金喷漆 |
基板规格
| 序号 | 项目 | 标准 | 公差 |
| 1 | 尺寸 | 200mm×200mm（可向下兼容） | 各边±1mm |
| 2 | 材料 | 玻璃 | / |
| 3 | 厚度 | ≤3.2mm | ±0.2mm |
| 4 | 最大允许弯曲 | 对角线方向≤0.5mm/m | / |
| 5 | 边缘 | C角 | / |
