摘要：
ZMPS-VCM01-300真空成膜设备
此设备用于在减压下进行结晶从而分离溶液中溶质和溶剂的设备。
设备参数
| 序号 | 项目 | 参数 |
| 1 | 设备尺寸 | 1100×1000×1200mm |
| 2 | 设备重量 | 200kg |
| 3 | 真空泵 | 电压：380V，功率：2.2kW |
| 4 | 真空泵抽速 | 60m³/h |
| 5 | 腔体材质 | 采用6061铝合金 |
| 6 | 工艺真空度 | 1Pa |
| 7 | 极限真空度 | ≤8.0×10-1Pa |
| 8 | 工艺抽速 | 大气压状态10s达到10Pa |
| 9 | 真空参数（设备破真空后8小时，空载抽空压力为基准） | 腔体漏率≤1×10-9Pa·m³/s |
| 真空计测量范围：1.0×10-1～1.0×105Pa |
基板规格
| 序号 | 项目 | 标准 | 公差 |
| 1 | 尺寸 | 300×300mm以内 | 各边±1mm |
| 2 | 材料 | 玻璃 | / |
| 3 | 厚度 | 1～3.2mm | ±0.2mm |
| 4 | 最大允许弯曲 | 对角线方向≤0.5mm/m | / |
| 5 | 边缘 | C角 | / |
