摘要：
ZMPS-SSG01-300气氛退火设备
此设备同时具备了真空闪蒸和气氛处理两种功能，用户只需要进行简单的部件更换就可以实现功能切换。
设备参数
| 序号 | 项目 | 参数 |
| 1 | 设备尺寸 | 1000×800×1400mm |
| 2 | 设备重量 | 160kg |
| 3 | 腔体材质 | SUS310S不锈钢 |
| 4 | 腔体内部空间尺寸 | 340×340×20mm |
| 5 | 适用基材尺寸 | 300×300mm以内 |
| 6 | 工作电源 | 220V |
| 7 | 机械泵 | 电压及功率380V/2.2kW（单独供电） |
| 8 | 真空泵抽速 | 60m³/h |
| 9 | 工艺舱室 | 采用氟胶圈密封，针阀手动调节泄气速度；温度最高300℃，控温精度±1℃，温度均匀性±5%。 |
| 10 | 真空测量 | 真空计测量范围：1.0×10-1～1.0×105Pa |
| 11 | 工艺技术指标 | 抽空时间：10s到10Pa |
| 12 | 真空参数 | 极限真空≤8×10-1Pa |
基板规格
| 序号 | 项目 | 标准 | 公差 |
| 1 | 尺寸 | 300×300mm以内 | 各边±1mm |
| 2 | 材料 | 玻璃 | / |
| 3 | 厚度 | 1～3.2mm | ±0.2mm |
| 4 | 最大允许弯曲 | 对角线方向≤0.5mm/m | / |
| 5 | 边缘 | C角 | / |
