摘要:

ZMPS-BCM01-300桌面式刮涂机

此设备用于在玻璃基板(基板尺寸≤300×300mm)表面刮涂工艺薄膜。


设备参数

序号项目参数
1设备尺寸1000×700×500mm
2设备重量150kg
3刮涂有效宽度300mm向下兼容
4液体粘度0.7~1000cp
5干膜厚度20~2000nm(根据溶剂而定)
6基材载片平台含真空吸附功能,孔径约0.8~3mm
7刮刀材料SUS304
8刮刀精度刀口/工作面直线度≤±0.005mm/0.1m
9风刀部件均匀性优于±5%
10Y轴传动部件速度0~50mm/s
11驱动方式同步带+步进电机
12大理石平面度精度优于±2.5μm
13Z轴分辨率1μm
14设备控制系统配套人机界面,使用运动控制系统控制

基板规格

序号项目标准公差
1尺寸300mm×300mm各边±1mm
2材料玻璃/
3厚度1~3.2mm±0.2mm
4最大允许弯曲对角线方向≤0.5mm/m/
5边缘C角/